根据ASML的正式声明,2023年取消了NXT:2050i和NXT:2100i光刻系统的出货许可证,但他们指出这并不是令人过分担心的事情。

据ASML表示,2023年已基本交付了中国大陆客户预先支付的DUV积压订单(不过他们之前已表明无法确定能否延续至2024年)。

实际上,2023年ASML一直在向中国客户提供光刻机,包括NXT:2000i和更高级的DUV型号产品,并且已基本交付了中国大陆客户预先支付的DUV积压订单。

然而,像先进的7nm、14nm等EUV光刻机这类产品,ASML仍无法向中国客户销售。

根据ASML官网信息,目前该公司销售的主要浸没式DUV光刻机产品有三款:TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。

对于TWINSCAN NXT:1980Di的介绍指出,其分辨率大于等于38纳米(可支持至大约7纳米),这是单次曝光的分辨率。然而,实际上光刻机可以进行多次曝光。

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